پودر پرداخت نوری FO برای پرداخت ویفر ۱۲ اینچی
پودر پولیش نوری FO یک ساینده کامپوزیتی با دقت بالا است که به طور ویژه برای پردازش مسطح‌سازی فوق‌العاده ریز ویفرهای نیمه‌هادی ۱۲ اینچی بهینه شده است. این پودر با بهره‌گیری از فرمول کامپوزیت آلومینا و زیرکونیای اصلاح‌شده، دارای توزیع ذرات یکنواخت، سختی متوسط و پایدار و سوسپانسیون دوغاب عالی است که کاملاً با الزامات سختگیرانه پولیش CMP ویفرهای سایز بزرگ مطابقت دارد.
این محصول به صورت حرفه‌ای برای پولیش دقیق کل فرآیند ویفرهای سیلیکونی ۱۲ اینچی، گالیوم آرسنید، ایندیوم فسفید و سایر ویفرهای نیمه‌هادی مرکب استفاده می‌شود. این محصول به طور موثری میکرو عیوب سطحی، ردپاها و لایه‌های ناهموار را بدون ایجاد میکروخراش‌ها، چاله‌ها یا بقایای تنش سطحی از بین می‌برد. این محصول مسطح‌سازی سطح فوق‌العاده صاف را محقق می‌کند و صافی، موازی بودن و بازده کلی ویفرهای با قطر بزرگ را تا حد زیادی بهبود می‌بخشد.
با ثبات دسته‌ای پایدار و نرخ براده‌برداری قابل کنترل، با تولید انبوه خودکار ویفرهای ۱۲ اینچی سازگار است. این محصول می‌تواند به طور کامل جایگزین پودرهای پولیش وارداتی با کیفیت بالا شود و از مشخصات ذرات سفارشی پشتیبانی می‌کند. این محصول که برای تولید نیمه‌هادی‌ها، پردازش بستر تراشه‌های اپتوالکترونیکی و سایر سناریوهای با دقت بالا ایده‌آل است، یک ماده پولیش هسته مقرون به صرفه و قابل اعتماد برای تولید ویفرهای بزرگ است.
خواص فیزیکی و ترکیب شیمیایی %-FO پودر پرداخت نوری برای پرداخت ویفر ۱۲ اینچی
| مورد | اندازه | وزن مخصوص (گرم بر سانتی‌متر مکعب) | شیمیایی (٪) | ||||
| آل2O3 | سی او۲ | Fe2O3 | تیتانیم دی‌اکسید | زیرکونیوم اکسید | |||
| فو | #۸۰۰-#۱۲۰۰ | ۳.۹۰ پوند | ۴۵.۰≥ | ≤20.0 | ≤0.5 | ≤۲.۰ | ≤۳۳.۰ |
| #۱۵۰۰-#۳۰۰۰ | ۳.۹۰ پوند | ۴۰.۵ ≥ | ≤20.0 | ≤0.7 | ≤۲.۰ | ≤۳۳.۰ | |
PSD (توزیع اندازه ذرات) پودر پرداخت نوری FO برای پرداخت ویفر ۱۲ اینچی
| اندازه | دی0 | دی۳ | دی۵۰ | دی۹۴ |
| #۸۰۰ | ۳۲.۰≤ | ۲۷.۰≤ | ۱۱.۳±۰.۹ | ۶.۵ ≥ |
| #1000 | ۲۷.۰≤ | ۲۳.۰≤ | ۹.۴±۰.۸ | ≥5.0 |
| #۱۲۰۰ | ۲۳.۰≤ | ≤20.0 | ۷.۱±۰.۷ | ۴.۰≥ |
| #۱۵۰۰ | ۱۹.۰≤ | ۱۷.۰≤ | ۵.۵±۰.۵ | ۳.۰≥ |
| #۲۰۰۰ | ۱۵.۰≤ | ۱۴.۰≤ | ۴.۵±۰.۴ | ۲.۰≥ |
| #۳۰۰۰ | ۱۲.۰≤ | ≤۱۱.۰ | ۳.۶±۰.۴ | ۱.۵ پوند |
کاربردهای اصلی میکروپودر نوری FO
-سنگ زنی و صیقل کاری ویفرهای نیمه هادی
– پرداخت سطحی انواع شیشه‌های اپتیکی
– سنگ‌زنی و صیقل دادن لنزها، منشورها، آینه‌ها، فیلترها و غیره از کریستال‌های نوری.
پرداخت سطحی مواد پیزوالکتریک
بسته بندی میکروپودر نوری FO
کیسه‌های پی‌وی‌سی ۱۰ کیلوگرمی + پالت
