تفاوت بین پودر پولیش PWA و پودر پولیش WA
PWA و WA دو سایندهی کلاسیک برای پرداخت آلومینا هستند که به طور گسترده در صیقلکاری دقیق، پرداخت ویفر نیمههادی و پردازش نوری مورد استفاده قرار میگیرند. آنها اساساً در روش تولید، مورفولوژی ذرات، خلوص، مکانیسم پرداخت و سناریوهای قابل اجرا، همانطور که در زیر شرح داده شده است، متفاوت هستند.
۱. نام کامل و فرآیند تولید
WA مخفف White Fused Alumina است. این ماده با ذوب بوکسیت در دمای بیش از ۲۲۰۰ درجه سانتیگراد در کوره قوس الکتریکی، سپس خرد کردن، آسیاب کردن و طبقهبندی بلوکهای کوراندوم ذوب شده سرد شده به پودر میکرو تولید میشود.
PWA به Platelet Calcined Alumina اشاره دارد. این ماده از فناوری کلسیناسیون جهتدار در دمای پایین در دمای ۱۳۰۰ درجه سانتیگراد بدون ذوب الکتریکی استفاده میکند و رشد کریستال را برای تشکیل پلاکتهای شش ضلعی مسطح منظم کنترل میکند و پس از آن شستشو و درجهبندی دقیق برای به دست آوردن پودر نهایی انجام میشود.
۲. شکل و خلوص
ذرات WA ذرات چندوجهیهای نامنظم و تکهتکه با لبههای تیز و برنده هستند. خلوص Al₂O₃ آن ≥۹۶.۰٪ است که حاوی ناخالصیهای کمی بیشتر مانند آهن و سیلیکون است.
PWA دارای کریستالهای تخت صاف و بدون لبه با نسبت ابعاد بالا است. خلوص آلومینای آن بیش از ۹۹.۰٪ است و ناخالصیهای فلزات سنگین آن به شدت کنترل میشوند و استانداردهای تولید نیمههادی فوقالعاده تمیز را برآورده میکنند.
۳. عملکرد پولیش
WA برای برش مکانیکی به لبههای تیز متکی است و نرخ برداشت مواد بالایی را ارائه میدهد. با این حال، نیروی برش سفت و سخت آن به راحتی باعث ایجاد خراشهای ریز، آسیب شبکه زیرسطحی و تنش پسماند روی زیرلایههای شکننده مانند InP، GaAs و ویفرهای نازک سیلیکونی میشود. این دستگاه برای برداشت سنگین مواد، سنگزنی خشن در جایی که پرداخت سطح در اولویت نیست، مناسب است.
ذرات مسطح PWA محکم به سطوح قطعه کار میچسبند و مواد را از طریق اصطکاک لغزشی یکنواخت به جای برش تیز، برداشت میکنند. این دستگاه خراشها و آسیبهای زیرسطحی را به حداقل میرساند و سطوح آینهای فوقالعاده صاف و بدون مه با صافی کلی عالی ارائه میدهد. این دستگاه بین راندمان برداشت متوسط و کیفیت سطح فوقالعاده دقیق تعادل برقرار میکند، که برای پولیش ظریف نیمههادی مرکب CMP ایدهآل است.
۴. پایداری شیمیایی و محدوده کاربرد
هر دو سختی Mohs 9.0 و فاز پایدار α-آلومینا را دارند، اما PWA مقاومت اسیدی و قلیایی قویتر و پراکندگی بهتری در دوغابهای صیقلدهنده بدون تجمع دارد.
WA عمدتاً برای سنگزنی خشن فلزات، صیقلکاری خشن شیشههای معمولی و صیقلکاری سختافزارهای کممصرف استفاده میشود.
PWA حوزههای سطح بالا را هدف قرار میدهد: صیقلکاری ویفر نیمههادی III-V، پرداخت کریستال نوری، برش ظریف پس از CMP شیشههای منحنی سهبعدی و پرکننده کاربردی با خلوص بالا برای پوششهای عایق حرارتی، که به عنوان جایگزینی عالی برای واسطههای صیقلدهنده با دقت بالای وارداتی عمل میکند.
